（1）将钼粉和铌粉（纯度均为≥99 .95%，粒径分别为20μm和50μm）按照重量比为9 .5:1的比例装入球磨机中，然后加入聚乙烯醇和氧化锆磨球（粒径2 .5mm），在氩气保护下进行球磨，所述的球磨时间为90min，球磨转速为1100r/min，过筛，分离得到粒径为10μm钼铌合金复合粉末；所述聚乙烯醇、氧化锆磨球的重量分别为钼粉和铌粉总重量的0 .04倍、18倍；
（2）将钼铌合金复合粉末抽真空处理，接着进行冷等静压成型，冷等静压的压力为160MPa，保压时间为6min，得到压制毛坯；
（3）将压制毛坯在真空烧结炉中进行烧结成型，烧结温度为1900℃，烧结时间9 h，得到靶材毛坯；
（4）将靶材毛坯经过机械加工得到产品钼铌合金溅射靶材，钼铌合金溅射靶材为单一物相组织，组织均匀无孔洞（参见图6），平均晶粒尺寸50μm，密度9 .86g/cm3。